SEMIスタンダード（規格）の番号の見方

E

製造装置に関するもの 

製造装置ハードウェア（Equipment Automation / Hardware）
製造装置ソフトウェア（Equipment Automation / Software）
設備（Facilities） 

F

設備（Facilities）に関するもの 

設備（Facilities） 

D

フラットパネルディスプレイ（FPD）に関するもの 

フラットパネルディスプレイ（FPD） 

C

薬液やガスに関するもの 

ガス（Gases）
プロセスケミカル（Process Chemicals） 

M

材料に関するもの 

材料（Materials） 

MS

MEMSに関するもの 

材料（Materials） 

P

マイクロリソグラフィに関するもの 

マイクロリソグラフィ（Microlithography） 

G

パッケージに関するもの 

パッケージング（Packaging） 

PV

太陽光発電に関するもの 

太陽光発電（Photovoltaic） 

S

環境、健康、安全に関するもの 

安全ガイドライン（Safety Guidelines）

MF

シリコンマテリアル＆テスト方法に関するもの

シリコンマテリアル＆テスト方法（Silicon Materials & Process Control）　
※大分類では「材料」分野に入ります。

T

トレーサビリティに関するもの

トレーサビリティ（Traceability）

E

意味：編集上の修正（Editorial Change）
技術的内容でなく編集上の誤りなどを修正したスタンダード。

例：S8-0307E
2007年3月出版のスタンダードに編集上の修正が加えられたもの。

意味：再承認（Reapproved）
そのままの内容で再度承認されたスタンダード。

例：E57-0600（Reapproved 0305）
2000年6月のスタンダードがそのままの内容で2005年3月に再度承認されたもの。

意味：撤回（Withdrawn）
出版停止が決まったスタンダード。撤回が決定となった後1年間は引き続き出版されるが，その後は最新版として出版されなくなる。

例：E2-93（Withdrawn 1103）
1993年のスタンダードが2003年11月の出版サイクルで撤回とされ，2004年7月版まで引き続き出版されたが，それ以降は最新版として出版されなくなった。

アルファベットの小文字

意味：時限付き改訂（Delayed Revision）
変更部分が有効になるのが次の（時限付きでない通常の）改訂（改訂年月を示す4桁の数字が変更になる）まで保留とされる。ただし，次の（通常）改訂以前に時限付き改訂部分を実装することは任意である。

例：S2-0706a
2006年7月出版のスタンダードに時限付きで改訂されたスタンダード。
「S2-0706a」版の後，さらに時限付改訂が行われると，「S2-0706b」となる。