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セミナーテキスト好評発売中
300mm半導体製造装置では半導体製造工場において、キャリア（FOUP）、ロードポート、自動搬送（AMHS）などのシステムが標準化されました。このシステムの一環として、GEM300は通信により半導体製造装置を自動運転するための制御と管理の標準仕様を定義しています。
このセミナーでは、GEM300に含まれる以下のSEMI ソフトウェアスタンダードを体系的にわかりやすく解説します。
- キャリア管理（CMS）：SEMI E87
- プロセス管理（PJM）：SEMI E40
- コントロールジョブ管理（CJM）：SEMI E94
- 基板トラッキング（STS）：SEMI E90
- オブジェクトサービス（OSS）：SEMI E39
講師には半導体製造装置メーカーの技術者をお招きし、豊富な実務経験に基づいた説明を行います。講師は、SEMI スタンダード Information & Control 委員会*のメンバーでもあり、日々スタンダードの開発にも携わっています。
*Information & Control （略称： I&C） 情報と制御の委員会 （ホストとの通信による半導体製造装置の自動化、および様々なデータ管理のスタンダード化を検討、提案、決定する委員会）
対象者
- 半導体製造 CIM(Computer Integrated Manufacturing)システムの技術者
- 装置のコンピュータ・コントロールの技術者
- 関連のソフトウェア開発者
- 関連技術の企画者、管理者
※なお、GEM300セミナーの参加者はSECS/GEMの基礎知識をお持ちの方を想定させていただきます。
対象範囲
- 当セミナーの範囲は、下図の赤枠内です。
- SECS/GEMセミナーについては前日の別セミナーで解説いたします。
「SECS/GEM」セミナーの詳細はこちら。
開催概要
| 開催日時 |
2019年6月21日（金）10:00 – 18:00 (9:30から受付開始） |
|---|---|
| 開催場所 |
会場名：SEMIジャパン JPRビル7階 会議室 住所：東京都千代田区九段南4-7-15 JPR市ヶ谷ビル7F アクセス：
|
| プログラムチェア |
東京エレクトロン株式会社 永田政也氏 |
| 講師 |
日本エー・エス・エム 株式会社 高崎義久氏 株式会社日立ハイテクノロジーズ 豊島優子氏 横河ソリューションサービス株式会社 八巻貴夫氏 座間コンサルティング 坂本見恒氏 |
| 参加費 |
SEMI会員企業の方（1名様につき）：21,600円 一般（非会員企業）の方（1名様につき）：34,560円 |
| テキスト |
当日配布 *配付資料に、SEMI E90などのスタンダード本文は含まれません。 |
| 定員 |
78名（※先着順） |
*このセミナーでは、標準化された文書の解説を行います。個別の装置の仕様など実装に関わる内容は、標準化活動の範囲外であり、当セミナーでは解説いたしませんので、その点ご了承ください。
アジェンダ
| 10:00 – 10:10 |
開会および主催者からの挨拶 |
|---|---|
| 10:10 – 11:00 |
GEMスタンダード概要説明 （座間コンサルティング 坂本見恒氏） |
| 11:00 – 12:00 |
SEMI E87 キャリア管理仕様解説 パート１ （日本エー・エス・エム 株式会社 高崎義久氏） |
| 12:00 – 13:00 |
休憩（Break) |
| 13:00 – 14:30 |
SEMI E87 キャリア管理仕様解説 パート２ （日本エー・エス・エム 株式会社 高崎義久氏） |
| 14:40 – 16:00 |
SEMI E40-PJM & E94-CJM （プロセス実行管理）解説 （横河ソリューションサービス株式会社 八巻貴夫氏） |
| 16:00 – 16:40 |
SEMI E90 STS （基盤追跡）解説 （株式会社日立ハイテクノロジーズ 豊島優子氏） |
| 16:40 – 17:20 |
SEMI E39 OSS （オブジェクト・サービス）解説 （日本エー・エス・エム 株式会社 高崎義久氏） |
| 17:20 – 18:00 |
演習、質疑応答、まとめ （日本エー・エス・エム 株式会社 高崎義久氏） |
お申込み・お問合せ
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後日請求書を郵送しますので、支払い期日（翌月25日）までにお支払いください。なお、期日内のお振込みが難しい場合は、同封の「お支払通知書」にお振込予定日をご記入の上、FAXにてご返送ください。
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※会員資格を確認できない場合、非会員料金で請求書を送付いたしますので、予めご了承くださいませ。
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お申込日を起算日として10日以降（例：10月1日にお申込の場合、10月10日以降）、及び、開催日14日前を過ぎた場合、キャンセル・変更はできません。代理の方の出席にてお振替えください。
万一ご欠席の場合でも、参加費用全額を申し受けますので、あらかじめご了承ください。
お問合せ
SEMIジャパン イベント受付
Tel: 03-3222-5988 Fax: 03-3222-5757
*電話受付時間：平日9:30-11:30 / 13:00-17:00
Email: jeventinfo@semi.org