Automation Technology(AT)日本地区技術委員会共同委員長
F-GEM (Flow-shop Generic Equipment Model)タスクフォース・リーダー
浅川 輝雄 (Vistaideal Consulting)
2019年9月18日
今月号では、2019年7月、Automation Technology(AT)委員会下に新たに設立されたF-GEM (Flow-shop Generic Equipment Model)Task Forceについてお伝えします。このTask Forceでは、フロー・ショップ型製造ライン用のGEM(Generic Equipment Model)を検討します。
よく知られているように、SEMI E30 - Specification for the Generic Model for Communications and Control of Manufacturing Equipment (GEM)は半導体前工程工場用のSEMI Information & Controlスタンダードの中核であり、データ指向のスマート製造環境で非常に複雑な生産管理をサポートしています。
半導体の前工程以外の製造ラインをよりスマートにする同様のSEMIスタンダードが期待されていますが、半導体フロントエンド・プロセス工場はジョブ・ショップ型であるのに対し、それらの製造ラインのほとんどはフロー・ショップ型です。
これらのフロー・ショップ型製造ラインにSEMI E30 GEMのサブセットを適用する活動がいくつかありましたが、異なるトポロジの製造ラインを効率的かつスマートにサポートするには不十分であり、フロー・ショップ型製造ライン用のGEMの開発が不可欠です。
AT委員会は、フロー・ショップ型製造ライン用の装置通信プロトコルとして既にSEMI A1 - Specification for Horizontal Communication (HC) Between Equipment for Factory Automation System および SEMI A1.1 - Specification For Media Interface For A Horizontal Communication (HC) Between Equipmentを開発しました。 F-GEM Task Forceは、SEMI A1/A1.1上で動作するフロー・ショップ型製造ライン用のGEMを検討し、必要に応じてスタンダードを開発します。
F-GEM (Flow-shop Generic Equipment Model)Task Forceの活動および関連するスタンダード活動にご興味がある方は、SEMIジャパン スタンダード&EHS部までお気軽にご連絡ください。
また、本記事に掲載されていますSEMI A1, A1.1, E30を含むすべてのSEMIスタンダードおよび安全ガイドラインは下記よりご購入が可能です。
SEMIスタンダード(SEMI規格)出版物および関連商品
http://www1.semi.org/jp/Standards/StandardsPublications
本件に関するお問合せ
SEMIジャパン スタンダード&EHS部 岩村瑞江(miwamura@semi.org)