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全球氣候變遷日益嚴重，這促使著國際環保組織對各個產業在環保上有更高的要求；另ㄧ方面，消費者對環境保護的訴求也愈亦高漲，因應這股綠色潮流，今年的SEMICON Taiwan展覽，首度推出「綠色製程及廠務管理專區」，目的就是希望協助高科技產業能早日啟動綠色管理，以永續經營為目標。SEMI更特別採訪了台灣半導體與平面顯示器製造大廠—台積電與友達光電，以及致力於半導體材料綠色研發製造企業—ATMI先進科材，針對綠色製造進行論談，期盼藉由這些領導廠商在綠色環保領域的積極作為，引導台灣更多的高科技廠商，找到綠色製造的方向與動力，提昇產業競爭力。
綠色製造全面啟動 一開始就要做對的事
專訪台積電風險管理暨工安環保衛生處副處長—許芳銘
台積電早在多年前即開始陸續推動供應商環安衛促進和綠色採購，回想當初僅是著重於對供應商員工「安全衛生」的關懷與考量，再逐年加強「環境」議題的比重，終於成果逐漸顯現。台積電認真地檢視自身安全與衛生的每個環節，也致力於將溫室氣體的排放量減到最低，同時積極要求供應商須符合環安衛標準，透過定期舉辦的供應鏈研討會、廠商稽核，帶領供應商在綠色製造上不斷提升。
今年，半導體產業景氣復甦，台積電也大興土木擴建新廠房並廣徵人才。然而，在這產能不斷拓展的同時，卻也正考驗著台積電的環安衛管理。在大舉擴廠時，環安衛要能落實有賴建廠階段依循相關安全標準來把關，這不但能讓管理者節省許多時間，更重要的是廠區因此才能有堅實的防護罩。因此在機台採購方面，台積電要求所買的半導體設備都需要有SEMI S2的驗證報告，確保其能符合安全與環保標準。
挾帶著優異的管理能力，台積電近期也已大舉擴張到PV、LED等綠能產業，然而，台積電看到了PV、LED相關機台的供應商多數還沒有準備SEMI S2的驗證報告。我認為透過長期使用與買家眾多機台數量的分攤，其實單一機台的安全驗證費用攤提應是有限的；再者，企業都知道安全與環保是無價的，我們禁不起在安全與環保上的缺失與災害。PV、LED既然宣稱是綠能產業，應當在設備機台的安全、環保設計上先需要做好自我檢核把關。
2009年，台積電在工業局的支持下，帶領其供應鏈共20家主要的氣體、化學品、矽晶圓等供應商、共計36個工廠，進行符合ISO標準的系統性碳盤查專案計畫。透過這個專案，成功地讓眾多供應商夥伴們完成了首次碳盤查、建置種子盤查人員、並成為全國第一個完成集體碳盤查的產業供應鏈。
而就在同一年，台積電與日月光公司也發起在台灣半導體產業協會的平台上，與各主要的晶圓製造、封裝測試會員公司與供應鏈廠商共同建立了全球首例的半導體產品碳足跡。我認為政府應加速建置一套具公信力、定時更新的我國上中下游產業鏈產品碳足跡數據庫，如此一來，未來各企業進行碳足跡盤查與計算時，即便是製程、物料有所變更，都能快速地擷取到最新的數據，新的碳足跡數值就能快速地更新。
事實上，環保是真能節省成本的，關鍵在於「一開始就要做對的事！」建廠規劃、機台設備設計若是一開始就依循環保的準則去做，當然在節能、減廢上可以獲致良好績效與合理成本；但若是設備上線生產後還需要經過修改測試才能達到環保需求，那就會有額外的經費需求了。
面對下一個10年的新環保計劃，WSC(World Semiconductor Council，簡稱WSC)成員們意識到晶圓廠自身所能做的環保工作已到了極限，下一步所共同面臨的情境是必須向設備與原物料端延伸，在設備機台設計階段就要求「Design for Green」，而原物料製造也要低碳化，也就是從源頭就將環保觀念納進來。
半導體晶圓廠在廠務系統的節能減碳已經做了極大的努力，也將如期完成WSC賦予的階段性任務。未來10年若要達到更具挑戰性的新目標，就有賴於與機台設備、原物料供應商合作，從源頭將節能、減碳做最佳的安排，才能有好成果。
然而，因為偶有牽涉到商業和技術機密等層次的考量，實際上供應鏈間尚無法做到足夠開放的討論。過往，企業多將綠色製造視為競爭力的表現，在共同目標下各自努力，少有實質合作。然而，目前面臨下一階段目標的共同瓶頸，勢必要化「唯一競爭」為「部份合作」，才有大幅進步的空間。
台積電董事長兼總執行長張忠謀博士今年五月份於韓國首爾WSC會議中也明確地指出：”我們已經來到了需要講求環保合作的時代”I hereby urge member companies under WSC and SEMI to work closely to meet this challenge.”。對此許芳銘補充說明：由於全球傳統能源有限，預期未來電費調漲、碳稅徵收等都會造成產業製造成本的提升，所以，WSC成員唯有透過與設備、原物料廠商進一步的合作，才能讓本產業在環保領域上持續進展，除了共創產業利益外也為地球環境盡最大心力。
專注研發節能產品 致力碳排放減量
專訪友達光電製造總部副總經理--林士凱
友達在2008年即提出綠色承諾，當時7個廠區的高階主管全員出動，友達提出「八、七、七」的綠色生產目標，目標在2010年完成資源回收再利用率達80%，並以2004年為基準年，達到溫室氣體排放降低70%，以及用水量減少70%等三項生態效益指標，目前友達已經完成這階段性的目標；並宣示在2010年完成其所生產的綠色產品可全面達到碳平衡 (carbon balance)；下一階段，我們期望在2012年的碳足跡能較2009年減量達30%。透過多次舉辦供應商會議，我們也啟動了供應鏈碳足跡盤查作業，運用自行研發的碳足跡e化資料管理系統，提升盤查效率，而這些積極的綠色製造行動，在在顯示友達早已將環保這個社會責任列入了我們重要的營運目標之一。
雖然SEMI S2主要是針對半導體設備與環安的相關標準，但是友達亦根據SEMI S2的精神與要點，擬定了友達專屬的內部審核文件，針對新進機台的採購與廠務管理，有很大的助益與成效。像是8.5代廠房L8A廠在設備機台的採購，就是參考SEMI S2與SEMI S23來制定相關的內部文件，作為設備機台的篩選。此外，友達L8A廠，為全球第一座榮獲美國綠建築協會所頒發LEED (能源與環境先導設計)金級認證的TFT-LCD廠房，該工廠估計整體節能成效可達21%，製程用水回收率達90%，每年可減少約300萬噸的自來水用量，已大幅減少資源浪費並降低對環境的衝擊。
有關碳足跡的盤查計畫，友達從2006年起即開始展開與供應商的溝通與洽談，對內更網羅了來自製造、研發、生產、環安等各部門代表，籌組跨部門的專案小組，從選定產品、規格與表格的制定、與供應商進行宣導與溝通、回收與分析相關數據與資料，到最後送交第三公正單位SGS查證，終於在2009年推出了全球第一台通過PAS2050:2008碳足跡認證標準與揭露的電視機產品-32吋環保節能液晶電視LCD TV Set。在這次的碳盤查計畫中，我們得以清楚地了解到面板從製造到廢棄，在各個階段的碳排放比例：製程生產佔12%、供應商材料佔28%，在使用者部分的產品能源消耗占比最大，為60%。所以，友達認為製造出具備高節能的產品，以漸少使用者在能源的消耗，對面板產品碳足跡的減少相對重要！所以我們致力於PSA、BOA、LED背光源的技術創新，以提高透光率讓面板的能耗減至最低。
不可否認，廠房在環保的提升的確需要不少的花費，但這是企業所必須履行的社會責任! 為了減少廢氣中氯化物的排放，我們投資了上千萬的費用，在廢氣污染防治設備中加入NaOH進行酸鹼中和，達到氯化物排放減量達99%的成效。此外，在2006年併購廣輝之時，也是投下可觀的經費大舉修整其廠房的VOC廢氣防治設備，以將VOC廢氣完全燃燒分解，將對環境的污染減到最低，這些都是友達在善盡社會責任的積極表現與具體成果。
但我認為廠房若在設計與建造階段就能將環保、節能要素考量進來，其實就能在製造過程中達到節能的具體成效，就像友達獲LEED金級認證的L8A綠色廠房，在節能成效、製程用水回收率都有很好的成果。
未來，友達除了透過技術創新，提高產品的節能成效外；更會與材料供應商持續的進行環保溝通與倡議。我們在使用本土化材料的比例在2009年已達89%(以採購金額計)；今年的目標期望能有20家供應商達到ISO14064-1的環保認證。未來亦將持續地與供應商們透過設定KPI節能目標，並展開相關活動進行宣導與改善，以降低在材料供應商這區塊所產生的碳足跡。在製程生產部份，我認為廠房一開始的設計很重要，一定要將機台規格、系統選擇作統合性的考量，才能在碳足跡的減少持續有所進展。
戮力於產品安全與材料使用效能最佳化 提昇綠色競爭力
專訪ATMI先進材料執行副總Tod Higinbotham
半導體的製造是否能達到環保的具體成效，相關材料的選擇占了很重要的一環。在材料的選用上，我的觀察是：更多的原物料將取自可再生素材、可生物分解，使其在使用或棄置後，不會對環境、人類造成損害的良性的物質。
我認為如何為客戶提供一個具有效率兼具環保的解決方案，即是實踐綠色製造的最佳途徑。ATMI將「環保」與「永續經營」納入我們在新產品研發、設計時的基本原則。公司裡有一個專注於「永續經營」的團隊小組，致力於推動企業綠色環保相關的專案。此外，我們的供應商管理團隊也積極爲客戶尋找符合其需求的解決方案，並評估遴選合格的供應商作為合作夥伴。就這樣，我們藉由滿足客戶在綠色產品的需求，逐步實現了綠色供應鏈的要求。同時，我們也針對一些主要的供應商，舉辦定期的會議以維持順暢的雙向溝通平台，這樣的活動使得ATMI可以與我們的供應商相互討論未來的技術與產品的發展藍圖，這也使得我們可以掌握最新的市場趨勢，並確保我們在環保領域上，處於領先的地位。
ATMI不僅致力於讓客戶能夠藉由我們所提供的產品解決方案來達到綠色製造的目標，公司本身在環保上的努力，也落實在我們平日的內部運作中，一再確保在每個環節都能朝向減廢、回收、節水、節能等方向來努力。
在產品的把關上，ATMI所有的產品都有符合SEMI相關之國際產業技術標準。而在符合RoHS的要求上，ATMI從一開始就嚴謹檢視新化學產品，並在階段性的把關過程中，確切檢測我們在HVM機台中的化學產品，確保這些物質不在RoHS或JIG Green list等環保違禁品清單中，並主動提交相關檢驗表單給客戶。除了上述法規和標準之外，最新的環保趨勢是遵守EICC(電子工業行為準則)。EICC涵蓋的範圍包括：勞工、環安衛、商業道德規範、管理系統要素，以及排廢、污染等對環境的影響。我認為產品要透過相關稽核認證，才能算得上真正實現綠色管理。
此外，我要特別說明的是，ATMI已經採用了所謂的「12 Principles of Green Chemistry」(綠化學12準則)作為公司營運準則，「12 Principles of Green Chemistry」是規範化學產品或製程的在環保領域的相關準則，這雖然稱不上所謂的「國際產業標準」，但此準則已受到美國環境保護局（EPA）認可。而我們也將「綠化學12 準則」視為ATMI的Green DNA，確切落實在設計、製造的每個環節中，嚴謹地控管ATMI所生產的化學產品與材料，並以最有效率的方式提供符合客戶需求的產品，以落實「12 Principles of Green Chemistry」環保原則。除此之外，我們在液體、氣體等化學材料研發階段，更採用了「High Productivity Development」方法，來避免在研發階段大量的材料耗損與浪費。
對任何一個具營利目標的產業而言，對於會增加成本的「綠色製造」，自會多所考量，當然半導體產業也不例外。然而，當我們站在制高點來看「綠色製造」這個議題時，我們會發現，一個能永續經營的企業，事實上更包含了對環境、經濟，以及整個社會有全面性的貢獻。
另外，我認為在評估環保成效時，需要針對產品本身的整個Life Cycle作全盤性的考量。譬如當我們專注於某個產品要符合無毒的要求時，可能就忽略了它實際上會消耗更多的能源，然而，這「無毒」與「節能」兩者都是環保的重要訴求，我認為應該從中找到一個對環境最友善的平衡點，才是真正的環保。
ATMI從公司成立就開始致力於產品安全性與材料使用效能的最佳化，包括RegenSi、AutoClean、PhorestClean及SDS Ventilation等產品，都是兼具環保並協助客戶達到永續經營的絕佳解決方案，有些產品甚至已銷售長達15年之久。隨著客戶積極尋找新方法來落實環保，包括：使用能降低能耗的產品、使用更少的矽、減少材料的浪費以及選擇對環境更為友善材料等，我們的解決方案就更受客戶肯定。例如TI (德州儀器) 那座獲得LEED認證的最環保晶圓廠，就是採用SDS Ventilation的產品概念。半導體製程中牽涉到許多技術和商業機密，然而我認為，未來客戶和供應商更應該要建擴大信任基礎，更開誠佈公的去分享資訊，共同設定綠色製程的目標，才能從設計就植入綠色概念，提升產業的綠色競爭力。
文： SEMI編輯 / 高偉玲 採訪報導 (2010/08)
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