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セミナーテキスト好評発売中
SECS (SEMI Equipment Communication Standard) およびGEM (Generic Equipment Model) は半導体製造工場での装置運用の自動化、または装置からのデータを収集するための基本的な標準通信インターフェースを規定しています。
このセミナーでは、SECSとGEMを実際に適用していただけるようにするために、以下のスタンダードを体系的にわかりやすく解説します。
- メッセージ伝送規約 HSMS: SEMI E37/SEMI E37.1
- メッセージ内容規約 SECS-Ⅱ: SEMI E5
- GEM（SEMI E30） 規約の概要
- GEM の基本要求
- GEM 追加性能
講師には半導体製造装置メーカーの技術者をお招きし、豊富な実務経験に基づいた説明を行います。講師は、SEMI スタンダード Information & Control 委員会*のメンバーでもあり、日々スタンダードの開発にも携わっています。
*Information & Control （略称： I&C） 情報と制御の委員会 （ホストとの通信による半導体製造装置の自動化、および様々なデータ管理のスタンダード化を検討、提案、決定する委員会）
対象者
- 半導体製造 CIM(Computer Integrated Manufacturing)システムの技術者
- 装置のコンピュータ・コントロールの技術者
- 関連のソフトウェア開発者
- 関連技術の企画者、管理者
対象範囲
- 当セミナーの範囲は、下図の赤枠内です。
- 300mmの通信スタンダード（GEM300）は、翌日の別セミナーで解説いたします。
「GEM300」セミナーの詳細はこちら。
開催概要
開催日時：2019年6月20日（木）10:00 – 18:00 (9:30から受付開始）
開催場所：SEMIジャパン JPRビル7階 会議室（東京都千代田区九段南4-7-15 JPR市ヶ谷ビル7F）
アクセス：JR総武線「市ヶ谷駅」より徒歩5分JR市ヶ谷駅より靖国神社方向にお進みください。進行方向右手。都営地下鉄新宿線、東京メトロ有楽町線・南北線「市ヶ谷駅(A3出口)」より徒歩1分（A3出口から地上に出られた右手）
参加費：SEMI会員企業の方（1名様につき）：21,600円一般（非会員企業）の方（1名様につき）：34,560円
テキスト：当日配布※ 配付資料に、SEMI E5などのスタンダード本文は含まれません。
定員：78名（※先着順）
プログラムチェア：東京エレクトロン株式会社 永田 政也 氏
講師：
日本エー・エス・エム 株式会社 高崎 義久 氏
株式会社日立ハイテクノロジーズ 豊島 優子 氏
横河ソリューションサービス株式会社 高木 成一郎 氏
座間コンサルティング 坂本 見恒 氏
*このセミナーでは、標準化された文書の解説を行います。個別の装置の仕様など実装に関わる内容は、標準化活動の範囲外であり、当セミナーでは解説いたしませんので、その点ご了承ください。
アジェンダ
| 10:00 – 10:10 |
開会および主催者からの挨拶 |
|---|---|
| 10:10 – 10:20 |
SECS/GEM概要説明 （座間コンサルティング 坂本 見恒 氏） |
| 10:20 – 11:30 |
メッセージの伝送方法（HSMS: SEMI E37/SEMI E37.1） （株式会社日立ハイテクノロジーズ 豊島 優子氏） |
| 11:30 – 12:30 |
休憩（Break) |
| 12:30 – 13:30 |
メッセージの形式（SECS-Ⅱ: SEMI E5） （横河ソリューションサービス株式会社 高木 成一郎氏） |
| 13:30 – 14:30 |
GEM（SEMI E30） 規約の基本要求と概要 （座間コンサルティング 坂本見恒氏） |
| 14:50 – 16:00 |
GEMスタンダード解説（仕様詳細）パート１ （横河ソリューションサービス株式会社 高木 成一郎氏） |
| 16:10 – 17:20 |
GEMスタンダード解説（仕様詳細）パート２ （日本エー・エス・エム 株式会社 高崎 義久氏） |
| 17:20 – 17:40 |
質疑応答とまとめ |
お問合せ
SEMIジャパン イベント受付
Tel: 03-3222-5988
*電話受付時間：平日9:30-11:30 / 13:00-17:00
Email: jeventinfo@semi.org