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2019年11月14日

SEMICON Japan 開催の週に、例年、SEMIスタンダードの会議が併せて開催されています。この機会に、国内外のスタンダード委員が、のべ約250人集結して、標準化文書の開発についての議論を行います。また、この期間中には、SEMIスタンダード委員の方々を対象にした、スタンダード各賞の表彰式を含むネットワーキングイベントや、スタンダードに関連するワークショップなども開催しております。

 

2019年については、展示会は12月11日（水）からの3日間ですが、スタンダードの関連会議は、12月10日（火）～13日（金）の4日間の予定です。

https://www.semiconjapan.org/jp/node/10986/

スタンダードに関連する会議やプログラムを次のとおりご紹介します。

 

1  スタンダード関連会議

8つの技術委員会会議と、20を超えるタスクフォースなど関連会議が開催されます。

  • 12月10日（火）（この日のみ会場はSEMIジャパン会議室）
    • ガス委員会および設備委員会合同会議
  • 12月11日（水）（以降、会場は東京ビッグサイト国際会議棟6・7階）
    • リキッドケミカル委員会
    • Physical Interfaces & Carriers（PI&C）委員会
  • 12月12日（木）
    • シリコンウェーハ委員会
    • メトリクス委員会
  • 12月13日（金）
    • トレーサビリティ委員会
    • EHS委員会
    • Information & Control（I&C）委員会

（日程詳細はこちらhttps://www.semi.org/en/connect/events/semicon-japan-2019-standards-meetings）

 

2  スタンダード関連プログラム

TechSTAGEのプログラムとして、次の2つのワークショップが開催されます。ぜひご参加ください。

  • 12月11日（水）
    3D Packaging & Integration委員会関連のプログラム「PLP技術の標準化ワークショップ -モールド樹脂上の配線層形成の必須項目-」詳細とお申し込みはこちら
  • 12月12日（木）
    トレーサビリティ委員会関連のプログラム「半導体・電子デバイスの模倣品対策　-装置部材メーカを巻き込んだ標準化の現状-」詳細とお申し込みはこちら

 

3  スタンダード会議

12月10日～13日に開催される会議の中で、特に注目される活動について、ご紹介させていただきます。

 

3.1  PLP Panel FOUPタスクフォース

3D Packaging & Integration技術委員会傘下に設立されたPanel Level Packaging (PLP) Panelタスクフォースに呼応する形で、Physical Interfaces & Carriers（PI&C）技術委員会傘下にPanel Level Packaging (PLP) Panel FOUPタスクフォースが2018年4月に設立。活動の中心は日本地区ではあるものの、各国のユーザー8社含む約50社が議論に参加し、グローバルな合意をめざして、タスクフォースでは、FOUPとロードポートに関するスタンダード文書を開発中です。過去の活動については、SEMI通信2019年9月号をご参照ください。

3.2  300 mm Tape Frame PI&Cタスクフォース

従来メタル系オープンカセットタイプのキャリアが使用されてきましたが、デバイスの品質向上要求の高まりを背景に、パーティクル低減のため密閉型キャリアの必要性が高くなってきました。前工程で使用されているSEMIスタンダードのFOUPでは直径サイズが足りないこともあり、新たなFOUPの標準化が求められ、PI&C技術委員会傘下に2018年9月に設立されました。現在では、日本地区を中心に台湾メーカーも含め約30社が議論に参加、FOUPとロードポートに関するスタンダード文書を開発中です。この冬には、第一回目のスタンダード文書案が提案される見込みです。ユーザーからのさらなるインプットを期待しています。

3.3  Diagnostic Data Acquisition （DDA）タスクフォース

I&C委員会傘下の活動。北米から提案されている装置データ収集（EDA）スタンダードのアップグレード（Freeze 3）について検討しています。SEMICON Japan では、タスクフォースを開催し、北米および韓国の提案者を交えて EDA Freeze 3 を議論をする予定です。EDA Freeze 3 の議論については、SEMI通信6月号をご参照ください。

3.4  Fab & Equipment Information Securityタスクフォース

I&C委員会傘下の活動。台湾地区のFab & Equipment Information Security タスクフォースや北米地区のFab & Equipment Computer and Device Security タスクフォースと連携して、装置、デバイス、ソフトウェアなどのコンピュータのセキュリティについて検討しています。

 

4  ご参加にあたって

SEMIスタンダード活動へのご参加は無料ですが、事前にスタンダード委員としてご登録いただく必要があります。委員のステータスやお手続きはこちらにアクセスしてください。

 

5  お問合せ

本記事に関するお問合せは次にご連絡ください。

SEMIジャパン　スタンダード＆EHS部
コリンズ純子 (jcollins@semi.org) / 柳澤智栄 (cyanagisawa@semi.org)