会社概要
当社は、半導体関連装置、エネルギー・環境関連装置、FPD関連装置及びレーザー顕微鏡の開発、製造、販売、サービスの提供を行っている会社です。光技術を使った検査装置/測定装置で幅広い産業分野における研究開発、品質管理の現場を支えています。
みどころ
今回展示する製品はハイブリッドレーザー顕微鏡『OPTELICS HYBRID』。半導体材料、透明膜、コーティング材料、無機/有機材料、金属部品、など、幅広い産業分野における研究開発、品質管理の現場を支えています。他にも異物/欠陥検査やマクロ検査の各種プロセス用検査機を紹介致します。
製品/サービス
OPTELICS HYBRID
・レーザ光源と白色光源の両方でコンフォーカル光学系を実現した世界初のモデル
・ミリ~ナノまでの非接触非破壊、表面観察/形状測定
・高さ/幅/粗さ/膜厚/膜ムラ/体積 等各種測定
・自動検査ソフト搭載可能。全面異物/欠陥検査ができます。
・自動測定ソフト搭載可能。指定個所の自動検査機として運用可能です。