2021-04-13

半導体業界に甚大な影響を及ぼす化学物質PFAS規制動向セミナーのご紹介

PFASは『パーフルオロアルキル化合物およびポリフルオロアルキル化合物』の略語です。PFASは1940年代頃から開発された人工化合物で、経済協力開発機構（OECD）がPFAS関連CAS 番号として確認した4,730の異なる化学物質の総称で、耐熱性、撥水性、撥油性に優れ、壊れにくいという特徴的な化学的性質を持つことから、PFASを使用する主要な産業部門や製造業界には、航空宇宙・防衛、自動車、航空、繊維、皮革および衣料、クリーニング製品、建設および家庭用製品、電子機器（半導体プロセス材料、半導体部品材料など）、消火、焦げつき防止の調理器具、汚れをはじく衣類、食品接触材、食品加工、および医療製品などがあります。

とりわけパーフルオロオクタンスルホン酸（PFOS）やパーフルオロオクタン酸（PFOA）のように、多岐にわたるPFASの中でも最も使われた物質は、難分解性で高蓄積性および水生生物への毒性を有する物質（PBT物質）、半減期が長く「永遠の化学物質」として知られています。
PFOSやPFOAの汚染が地球全体に広がっていることが明らかになりました。PFAS は分解されにくいため、生産や廃棄の過程で自然環境に入り込みます。ヒトの血液から検出されたとの調査結果が判明しています。

残留性有機汚染物質に関するストックホルム条約（POPs条約）の第4回締約国会議（2009年5月）を経て、PFOS またはその塩として、日本では2010年5月1日に化学物質の審査及び製造等の規制に関する法律（化審法）の第1種特定化学物質に指定されました。
PFOSを皮切りに、条約締約国や欧州委員会で、PFOA、パーフルオロヘキサンスルホン酸（PFHxS）、パーフルオロヘキサンカルボン酸（PFHxA）、パーフルオロブタンスルホン酸（PFBS）などが規制対象として計画されています。

欧州委員会は2020年10月14日に「無毒な環境に向けた持続可能性のための化学物質戦略」を公表し、業界に直接影響を与える50以上の行動を公約し、2024年までに完了する予定です。この青写真は、NGOからの祝福と業界からの失望を引き起こしました。業界は潜在的にパイプラインにある巨大な規制の変更を懸念していますが、NGOはさらに遅れることなく新しい規制を実施することを求めています。採用された25ページのコミュニケーション文書には、内分泌かく乱化学物質（EDC）、PFASを制限するための新しい対策として、残留性、移動性および有毒物質（PMT）および非常に残留性が高く、非常に移動性の高い物質（vPvM）に完全に対処するための新しい危険有害性クラスおよびポリマーのREACH登録が含まれています。

欧州委員会はこの「化学物質戦略」の中で、PFAS規制のための包括的な対策を発表し、単一の化学物質だけでなく、特定の懸念されるポリマーにも拡大されています。たとえば、プロセスケミカル（レジスト、反射防止膜など）としての過フッ素化側鎖を持つ一部のポリマー、調理器具の焦げ付き防止コーティングとして使用されるポリテトラフルオロエチレン（PTFE）を始め、半導体部品・装置に使用されるパッキン、ガスケット、 Oリング、シール材としてのフルオロポリマーやバイトンゴムなども規制対象として、PFASを1物質毎に規制するのではなく、グループ化により規制する動きが活発化し始めています。
国際PFAS科学パネルはフルオロポリマーを必須用途のみに限定することを唱え、欧州化学物質庁（ECHA）では単一物質としてのPFASではなく、PFASをグループ化することによりPFAS全体を規制し、2025年までに必須用途でない場合は商業的流通を認めず、廃止する等の措置を取る計画をしています。

米国でも環境保護庁（EPA）がEUと同様なClass-based PFAS規制を検討中です。
2020年5月には、欧州委員会は企業および利害関係者にPFASの有害性特性および使用に関する情報の提出を求め、現在、提案に取り組んでいる組織がその情報を処理しています。

SEMIでは2020年７月29日に欧州委員会に対し、PFASの必須用途として半導体関連部品・材料についてREACH 規制管理オプション分析（RMOA）への回答を提出済です。
今後は必須用途としての社会的利便性・経済性等が評価されますが、最終規則で必須用途として認められるようアンブレラ効果も活かして業界が一丸となって意見出しをしていく必要があります。
PFAS含有の情報共有が希薄であり、今後はサプライチェーン上の川上の供給者と川下使用者間の情報共有化が重要な課題となります。