SEMIスタンダード（規格）の購入方法は二つあります
SEMIスタンダード（規格）の商品
SEMIViewsは、全てのSEMIスタンダード（規格）がオンラインで閲覧できるサブスクリプション（年間契約）のサービスです。
SEMI スタンダード個別購入
全てのSEMIスタンダード（規格）の中から必要な規格のみご購入可能です。
Other Files for Free Download
(下記の資料は無料でダウンロード可能です。)
Complementary Files
Complementary files includes official content required for using a Standard or Safety Guideline. It is part of the Document, but is published separately and in a different file format.
Supplementary Materials
Supplementary Materials are referenced in standards, but are not an official part of the standard.
著作権およびライセンス契約
General Copyright and License Agreement for SEMI Standards web downloads.