本セミナーでは、半導体製造装置で実現すべき環境・健康・安全（EHS）上の性能基準を提供しているEHSガイドライン、SEMI S2（以後S2と記載）を詳しく解説いたします。S2を学ぶことで、半導体産業特有の基準、ならびに半導体製造装置の設計にあたって考慮すべき国際規則、規制、スタンダード等に関しても理解を深めることができます。
SEMI EHSガイドラインは上記のようにS2を統括役とする階層構造になっており、関連する10件のガイドラインを参照する形を取ることで、各専門分野の要請に応じて適時適切な改訂がかかるようになっています。その中でも人間工学ガイドラインのSEMI S8は別格扱いで、エンドユーザーが半導体製造装置を現場で安全稼働させるために必須とされています。
S2は上記のとおり28章に亘る本文と、付属文書ならびに関連文書を含む形で構成されています。今回のセミナーは事前収録形式とし、電気、機械、化学、防火、環境、放射等々、各専門分野に対して講師を配置した形でお届けいたします。
なお、S2から直接参照されてはいませんが、省エネルギー・ユーティリティー・材料のためのガイドラインSEMI S23や、大量の化学エネルギーを蓄積しているエネルギー物質を扱うためのガイドラインSEMI S30を含め、現場のEHS要請に合わせた形で継続的にガイドライン開発が進められています。
2023年7, 8月開催予定の本セミナーでは、2021年に出版されたSEMI S2-0821に時限付き改訂（※）部分を加えた最新版であるSEMI S2-0821Ea（2023年3月出版）が解説の対象です。今回の時限付き改訂には、初めての記載となる圧力システム（18章：機械設計に追加および新規関連情報の追加）、ならびに半導体製造装置の廃棄（9章：ユーザーに提出する文書類および21章：環境への配慮に追加）が含まれています。また、SEMI S2のリスク評価に使用するSEMI S10にも改訂がかかりましたので、総合的に分かりやすく解説いたします。
※時限付き改訂とは
文書の改訂が行われましたが、改訂内容は即時有効ではなくとなるのではなく後日有効となり、その有効日以前の実装は任意となります。
SEMIチュートリアル SEMI S2セミナー
申し込み期間：2023年5月17日（木）～ 6月26日（月）
動画配信期間：2023年7月3日（月）～ 8月31日（木）
参加費 : SEMI会員 25,300円、一般 50,600円（消費税込）
本件についての問い合わせおよび、SEMIスタンダードEHS技術委員会に関連する標準化活動にご参加を希望される場合は、以下にお問合せください。
お問合せ窓口
SEMIジャパン Standards&EHS部 吉田
Email : jstandards@semi.org
※本記事は、2021年5月12日に公開した内容を最新情報に修正し、2023年5月15日に再度公開しました。