SEMIは、エレクトロニクスおよび関連業界向けのSEMIスタンダード活動において顕著な功績を残した業界リーダーを表彰しました。SEMIスタンダード賞は、サンフランシスコのモスコーニ・センターで開催されたSEMICON West 2023のSEMIインターナショナルスタンダード・レセプションにて2023年7月11日に発表されました。
SEMIインターナショナルスタンダード優秀賞（SEMI International Standards Excellence Award）
1992年から毎年実施しているこちらの優秀賞では、台湾のFab & Equipment Information Security Task Forceそして、北米のFab & Equipment Computer and Device Security (CDS)Task ForceにてSEMI E187 - ファブ設備のサイバーセキュリティに関する仕様書とSEMI E188 - マルウェアフリー設備の統合に関する仕様書を開発したリーダーシップチームが受賞しました。これらの補完的な規格は、製造工場および半導体製造装置のセキュリティに関する主要な問題に対処してます。
以下は表彰された受賞者：
- Richard Howard氏 / Cimetrix by PDF Solutions
- Ryan Bond氏 / Intel
- Ares Cho氏 / ITRI
- Leon Chang氏 / TSMC
SEMI E187 は、半導体メーカー、顧客、サプライヤを含むサプライチェーン全体の情報セキュリティを大幅に改善します。SEMI E188 は、設備納入中の製造施設へのマルウェアの拡散を緩和し、デバイスメーカーと装置サプライヤの双方が装置の信頼性と稼働率を向上させるのに役立ちます。
コーポレート・デバイス・マニュファクチュア賞（Corporate Device Manufacture Award）
北米地区SEMIスタンダード活動におけるコーポレート・デバイス・マニュファクチュア賞は、SEMI規格の開発に顕著な貢献をしたデバイスメーカーの代表者を表彰するものです。
- Emily Liew氏 / X-FAB Silicon Foundries SEは、ウェーハマーキング規格SEMI M12およびM13の改訂に尽力しました。Liew氏は、北米のシリコンウェーハ技術委員会の主要メンバーと協力し、両規格の適用範囲を明確にしながら、200mmウェーハ裏面へのレーザーマーキングに関する追加仕様を作成しました。また、北米のトレーサビリティ技術委員会においても5年見直しのタスクフォースのリーダーを担当し、その他多くのSEMIグローバル技術委員会に積極的に参加しています。
功労賞（Merit Award）
北米地区SEMIスタンダード活動における功労賞は、タスクフォースレベルで複雑な問題を解決し、プロジェクトを完了に導いたSEMI国際標準化活動へ大きな貢献を称えるものです。
- Alexander Tregub氏/ ATCP Consulting Servicesは、北米のLiquid Chemicals 技術委員会の傘下に、CMP-C（Chemical Mechanical Planarization Consumables）タスクフォースを結成し、そのリーダーを務めています。同氏は、パッドの硬度、密度、気孔率、ディスク、ウィンドウに関する4つの新しいCMP-C規格（SEMI C100、C102、C103、C104）の発行に貢献し、さらに2つの規格（リングとPSA）を開発中です。同氏とCMP-Cタスクフォースは、半導体メーカーのニーズを満たし、技術を進歩させるために、多大な努力、献身、支援を行っています。
リーダーシップ賞（Leadership Award）
北米地区SEMIスタンダード活動におけるリーダーシップ賞は、スタンダード委員のトレーニング、指導、新規委員の勧誘を通じてSEMIスタンダード活動を強化した個人を表彰するものです。リーダーは、新しいボランティアが生産的な委員会貢献者となるよう支援し、標準化プロセスを通じて効率的に指導する上で重要な役割を果たしています。
- Andrew Petraszak氏 / 東京エレクトロンは、SEMI S1（安全ラベル）改訂タスクフォースの合意形成を通じて、SEMI S1の業界適合性とベストプラクティスとの整合性を改善するよう活動を主導しました。彼は、SEMI S1の改訂を完了させるために、同業者だけでなく数多くのメンバーも集めることに貢献しました。同氏は、S2機械設計タスクフォースを率い、著名なSEMI S2「製造装置安全ガイドライン」の昇降装置（§18.6）とヒンジ荷重（§18.7）の改善に取り組むだけでなく、SEMI S3（加熱システム）の改善の陣頭指揮も執っています。
栄誉賞（Honor Award）
北米地区SEMIスタンダード活動における栄誉賞は、SEMI規格の発展に長年尽力してきた個人を表彰するものです。
- Mohamed Saleem氏 / Brooks Instrument/ITWは、25年以上にわたりボランティア業界専門家としてSEMI標準化活動に積極的に参加しています。同氏の豊富な経験は、成果を完成に導く上で非常に重要であり、SEMI標準化プロセスを通じてトピックを推進する上で重要な存在であり続けています。同氏は、北米地区スタンダード委員会のメンバーであり、北米のガス技術委員会の議長を務めています。また、他の3つのガス関連タスクフォースを率い、SEMI F20（316SS流通システム）、F58（ガス供給システムにおける水分ドライダウンの試験方法）、F70（粒子寄与）、F105（金属材料適合性ガイド）、SEMI E186（MFCのEtherCATポート）など、広く使用されている多くの規格を執筆しています。
- Kou Murai氏/ KESG/MEGAは、12年以上にわたってボランティア業界エキスパートとしてSEMI標準化活動に積極的に参加しており、北米地区スタンダード委員会のメンバーでもあります。村井氏は、北米のLiquid Chemicals技術委員会の委員長及び、高純度タスクフォースのリーダー、その他多くの液体化学タスクフォースで支援をしています。村井氏は、SEMI F31（バルク化学品供給システム）、F39（化学品混合システム）、F41（バルク化学品供給システムの適格性評価）、E49シリーズ（E49.2、E49.4、E49.5、E49.7 - 高純度および超高純度配管の性能、サブアセンブリ、および最終アセンブリのガイド）、その他の様々な化学規格、およびいくつかの新しいスラリー規格など、多くの有名な規格の作成と改訂に尽力してきました。
SEMIスタンダード活動の詳細については、ウェブページをご覧ください。