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目次 | はじめに |  PFASとは何か  |  PFAS規制  |  半導体製造におけるPFAS  |  PFAS含有コンポーネント  |  アクション 

本ウェブページには、次のことが記載されています。

  • FPAS代替使用例
  • その他のFPAS物質
  • 化学物質安全データシート

 

PFASの代替使用例

現在PFASが使用されている用途において、代替の非PFAS化学物質の使用を検討する場合、特定の用途事例または一連の用途事例に焦点を当てることが非常に重要です。これまでの経験に基づくと、すべての用途事例においてPFAS化学物質を代替できる代替物質は存在せず、この概念は成形品ごとに適用されます。

例えば、周囲温度が低い制御装置内で使用されるPTFEケーブルタイをナイロン製のケーブルタイに置き換えることは可能かもしれません。しかし、低圧プロセスチャンバー内のワイヤを固定するために使用されているPTFEケーブルタイを置き換えるためにナイロン製のケーブルタイを使用することはおそらく実現不可能です。

 

その他のPFAS物質

上の図にあるように、伝熱流体、フッ素系温室効果ガス、潤滑剤はPFASの可能性があります。一部のPFASはオゾン層破壊物質でもあります。

Fガス／温室効果ガス

ある種のフッ素系温室効果ガス（「Fガス」または「GHG」と呼ばれることもあります）は、欧州のFガス規則（規制517/2014 – 間もなく差し替えられる予定、番号未定）や米国のAIM法など、ガスの地球温暖化係数に焦点を当てた規制の対象にもなっています。Fガスに焦点を当てた規制は、関連するPFASに焦点を当てた規制よりも制限が緩和されている可能性があります。

伝熱流体

一部の伝熱流体、特にポリフルオロポリエーテル類（PFPEs）はPFASです。一例として、CAS番号69991-67-9の「1-Propene,1,1,2,3,3,3-hexafluoro-, oxidized, polymerized」があり、「Galden HT-55」や「Fomblin Y」の商品名で販売されています。他にも多くのPFPEがあります。

潤滑剤

一部の潤滑剤はPFASです。フッ素樹脂（使用温度では固体）がPTFEのようなマイクロパウダーとして潤滑剤混合物中に存在するため、または液状PFASがパーフルオロポリエーテルやポリフルオロポリエーテル（どちらも頭文字をとってPFPE）として潤滑剤混合物中に存在するため、PFASになる可能性があります。マイクロパウダーPTFEベースの潤滑剤の商品名には、3-In-OneやWD-40があります。PFPEベースの潤滑剤には、Fomblin Y、Fomblin M/Z oilsなどがあります。Krytox EG (electrical grade) 2000のように、これら2つの技術を組み合わせた潤滑剤もあります。

オゾン層破壊物質

PFAS物質の一部（クロロトリフルオロメタン：CF3Clなど）は、オゾン層破壊物質（ODS）としても規制されており、EUのODS規則（規則1005/2009 – 間もなく差し替えられる予定、番号未定）のようなODSの懸念に焦点を当てた規制の範囲内となります。これは、PFASの定義の詳細が問題となる例です。クロロトリフルオロメタンは、フッ素と同じ炭素にClが結合しているため、EUが提案する一般的なPFAS規制の対象にはなりませんが、メイン州のPFAS定義の対象にはなります（上記のPFASの定義を参照のこと）。

 

化学物質安全データシート

容器中の化学物質（物質または混合物としても知られます）中のPFASの存在、またはポリプロピレンのブロックのような成形品のサプライチェーンの非常に初期の段階でのPFASの存在を調査する場合、安全データシート（SDS）は、通常、情報源として信頼されます。フッ素樹脂のSDSは、「>99% PTFE」と示すことができ、明らかに99%超PFASです。

注意点は、SDSがPFASのプロセス残留物や添加剤が存在することを示さないかもしれませんが、ppbレベルの濃度であるということです。というのも、近年まで、ほとんどのPFASは危険有害性物質と見なされていませんでしたし、SDS規制が開示を要求するような他の特性も持っていませんでした。あるいは、有害と指定されていたとしても、開示が必要な量では存在していませんでした。主にPFASの一種ではありますが、SDSに報告されないppbレベルの他のPFASを含む可能性のあるフルオロエラストマーについても同様です。

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注意：SEMIは、このWebページに含まれる情報の正確性または有用性について、いかなる保証も表明も行いません。正確性については、利用者ご自身の責任においてのみご確認ください。利用者は、ここに記載されている主題に関する他の関連文献を参照するよう注意してください。この情報は予告なしに変更されることがあります。この「PFAS Explainer」はSEMI PFAS WGのメンバーによって作成されました。改善のご提案はehs@semi.orgまでお寄せください。