2022年のお申込は終了しました
拡散・注入、リソグラフィ、エッチング、多層配線の製造プロセスの基礎から最先端までを凝縮。各技術専門の講師が豊富な図表を用いて、丁寧にわかりやすく解説する大人気の教育セミナーです。オンデマンド形式で約1か月間繰り返し学習することが可能です。また「半導体プロセス教本」のテキストもPDF形式でダウンロード頂けます。
※なお、本セミナーは2021年12月に配信したセミナーと同内容となります。
セミナー概要
SEMI チュートリアル
「半導体プロセス技術」
半導体デバイス製造プロセスをわかりやすく解説
動画配信期間： 2022年10月3日 (月) 10：00～ 11月30日 (水) 23：59
上記期間内に視聴可能
動画視聴時間：約8時間
申込締切：2022年9月26日 (月)
配信方式：オンデマンド形式
※ 会期中はいつでもアクセス頂き、動画を視聴頂く事が可能です。
※ お申込み前に必ず下記から視聴が出来るかご確認の上お申込み下さい。
視聴確認用URL：https://semitutorial.etudes.jp/jp/user/login
ID：test
PASS：semitutorial
参加費 : SEMI会員 50,600円、一般 73,700円（消費税込）
主催 : SEMI ジャパン
注意事項：
※本プログラムのテキストは「半導体プロセス教本」及び各講義ごとの投影資料を指しいずれもPDF形式でダウンロードを頂く形式となります。冊子の配布はございませんのでご注意ください。
プログラム
拡散・注入
ルネサスエレクトロニクス (株)
井上 真雄
酸化、拡散、イオン注入、LPCVD関連の基本技術をわかりやすく解説するとともに、半導体トランジスタの基本特性についても解説します。
リソグラフィ
大阪大学
遠藤 政孝
リソグラフィ技術の基礎から先端リソグラフィ技術を解説します。露光、マスク、レジスト、レジストプロセスに分類して、最新の技術展開も含めて説明します。また、液浸リソグラフィ、EUVリソグラフィ、ダブルパターニングの各技術について、最新動向も含めて説明します。
エッチング
日清紡マイクロデバイス (株)
吉田 典生
最初に、ドライエッチ ング導入の背景と歴史およびドライエッチングの理解に不可欠なプラズマについての基礎的な知識を平易に説明します。そして、その知識をベースに、ドライエッチングの原理と装置、LSIプロセスへの 応用、ドライエッチングによるダメージについて順番に解説します。
多層配線
ルネサス エレクトロニクス (株)
松浦 正純
アルミ多層配線技術について、その必要性および配線構造、構成する材料としての金属膜、絶縁膜について解説し、層間膜平坦化技術として重要な役割を果たすCMP技術についても説明します。また、先端デバイスへの適用が拡がるCu（銅）/Low-k（低誘電率層間膜）多層配線技術について、その必要性および技術課題と対策を解説します。
お申込み・お問合せ
お申込みにあたり、以下の事項について必ずご一読ください。
お申込み前に必ず下記から視聴が出来るかご確認の上お申込み下さい。
視聴確認用URL：https://semitutorial.etudes.jp/jp/user/login
ID：test
PASS：semitutorial
- 本WEBサイトより、視聴確認をした上でお申込み下さい。
- お申込みが確認できた方には、ご登録のメールアドレス宛に視聴用URLと、ID、初期パスワードを9月30日（金）までにお送り致します。
- 10月3日（月）10：00以降にURLにアクセス頂き、ID、PASSをご入力の上、ご視聴下さい。
「銀行振込」を選択された方：
後日請求書を郵送しますので、支払い期日（翌月25日）までにお支払いください。なお、期日内のお振込みが難しい場合は、同封の「お支払通知書」にお振込予定日をご記入の上、FAXにてご返送ください。
「クレジットカード」を選択された方：
後日、領収書を郵送します。
- お申込み画面でログイン後、申込者情報入力画面の下に「会員番号を入力してください」という項目がございますので、その欄にSEMI会員番号をご入力ください。
- お申込み内容のご確認の画面で「ご登録コード入力」の欄にmember22と入力いただき、[再計算]をクリックして割引が適用されていることをご確認ください。
※ 会員価格の適用は、請求書でお支払いの場合に限らせていただきます。（クレジットカードはご利用いただけません。）
※ 会員資格を確認できない場合、非会員料金で請求書を送付いたしますので、予めご了承くださいませ。
※ 会員番号はこちらでも確認いただけます。
本商品の性質上、お申込み後のキャンセルおよび返金は一切お受けしておりません。予めご了承ください。
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受講者の責任において、参加に必要なコンピュータ、利用環境、通信機器、通信回線その他設備を保持し、安定したネット環境下で受講ください。ご利用のデバイス、インターネットの通信状況等により、参加できない場合、返金等の対応は致しかねますので、予めご了承ください。
- 本セミナーのURL、ID、PASS を第三者と共有、または公開しないでください。アカウントの共有が発覚した場合、アカウントを無効化する場合があります。
- 本セミナーの録音・録画、および配布資料を含む講演資料の複製等は一切禁止いたします。
SEMIジャパン イベント受付
Tel: 03-3222-5988 Fax: 03-3222-5757
電話受付時間：平日9:30-11:30 / 13:00-17:00
