ETHERCAT®制御プロトコルを用いた
マスフローコントローラ/マスフロー新規格
By Mohamed Saleem, CTO, Brooks Instrument, and Laura Nguyen, SEMI
EtherCAT®通信は、半導体処理装置における好ましい通信プラットフォームとしてますます採用されています。
EtherCAT® Technology Group(ETG)はフローコントローラ(MFC)およびマスフローメータ(MFM)用のEtherCATプロトコルのための仕様パラメータを開発しました。
これらには、電源コネクタとEtherCAT RJ45ポートが含まれます。
EtherCATは、高いサイクルタイムとコスト効率の高いケーブル配線で知られています。
MFCに対するEtherCAT通信の利点は次の通りです。
(a)アプリケーション効率を向上させるための迅速な反応時間
(b)事実上無制限のネットワークトポロジ
(c)シンプルで堅牢な設定、診断、メンテナンス
MFC/MFM用EtherCAT通信の動作原理を図1に示します。
図1. EtherCAT通信の原理
EtherCATプライマリがテレグラムを送信すると、EtherCATプライマリは下流に移動する各ノードを通過します。
各ローカルデバイスはデータを読み取り、そのデータをフレームに同時に追加します。
この独自のテクノロジーにより、ローカルデバイスノードがデータを処理する前にEtherCATメッセージを送受信できるようになります。これは、情報をより速いペースで送信できることを意味し、応答時間が短縮され、業界最速のイーサネットテクノロジーとなります¹。
2003年に設立されたEtherCAT Technology Group(ETG)²は、OEM、エンドユーザー、およびテクノロジープロバイダーが協力して、半導体処理装置に関する技術開発を推進するグローバル組織です。
また、ETGは、EtherCAT通信用の特定のプロファイルやパラメータを専門家が開発する技術ワーキンググループを育成し、MFCに関しては、ETG TWGが特定のデバイスプロファイルを開発しました。
ETGとSEMIは、EtherCATポートの寸法と位置の仕様を標準化することに合意し、半導体装置会社とエンドユーザのために新しいSEMI規格(SEMI E186)³を作成しました。
この規格では、EtherCAT MFCの寸法および位置の側面について説明します。
(ETGは引き続き、EtherCAT MFCのすべてのデバイスパラメータ/プロファイルを維持します)。
SEMIスタンダードの作成はETGの作業レベルとSEMIスタンダードSEMI Standards Mass Flow Task Force/ガス技術委員会で議論されました。
参加方法
SEMIスタンダードの開発活動は、全主要製造地域で年間を通じて行われています。
参加をご希望の際は、SEMIインターナショナルスタンダードプログラム www.semi.org/standardsmembership.よりご登録をお願いします。
詳細につきましては、 SEMIスタンダードの Webサイト また 最新のイベント ページをご参照ください。SEMIスタンダード活動についてご質問がございましたら、SEMIスタンダード担当者 までお問い合わせください。
参考
- Beckhoff, http://beckhoff.com/
- EtherCAT Technology Group Headquarters, Ostendstraße 196, 90482 Nuremberg, Germany; Telephone:+49 (911) 54056 20, Fax: +49 (911) 54056 29, EtherCAT.org.
- SEMI Standard E186; Specification for Location and Dimensions for Power Connectors and Ethercat Ports in Mass Flow Controllers and Mass Flow Meters.（質量流量コントローラおよび質量流量計の電源コネクタおよびEthercatポートの位置および寸法に関する仕様）
Standards Watch
SEMI
www.semi.org
December 2, 2021