SEMI S23改訂版が出版されました
By Kevin Nguyen, SEMI HQ
2021年10月に発行されたSEMI S23, Guide for Conservation of Energy, Utilities and Materials Used by Semiconductor Manufacturing Equipment (半導体製造装置の省エネルギー・省資源・省資源ガイド) の最新版では、半導体製造装置(SME)のエネルギー、ユーティリティ、および材料の利用効率に関する概念が提供されています。
2021年6月の記事 に記載されているように、以前のSEMI S23-1216バージョンでは、半導体製造施設で利用可能な従来の施設供給冷却水である冷却装置冷却プロセス冷却水(PCW-C)についてのみガイダンスを提供しています。
大幅に改善された新しいバージョンでは、冷却塔システムから熱を除去するタワー冷却水(PCW-T)のガイダンスが提供されます。
冷凍システムを使用しないことで、エネルギー消費が非常に少なくなり、光熱費の削減につながります。
新しいSEMI S23は、異なるシナリオですべての半導体製造場所に対応するために、デュアル冷却プロセス冷却水(PCW-D)の概念も提供しています。
PCW-Dからの熱は、冷却塔システム(許容される範囲内)および冷水システム(供給温度を達成するために必要な範囲内)を通じて熱が除去されます。
SEMI S23 Revision Global Task Force の次のプロジェクトは、半導体製造装置で使用されるエネルギー、ユーティリティおよび材料の節約のためのテスト方法を作成することです。
目標は、SEMI S23で提供されたガイダンスを補完する省エネルギーの手順を考案することです。
新しい活動は正式に決定していませんが、この提案は2021年12月にカリフォルニア州サンフランシスコで開催される SEMICON West での次回技術委員会で議論される予定です。
参加方法
SEMIスタンダードの開発活動は、全主要製造地域で年間を通じて行われています。
参加をご希望の際は、SEMIインターナショナルスタンダードプログラム www.semi.org/standardsmembership. よりご登録をお願いします。
詳細につきましては、 SEMIスタンダードの Webサイト また 最新イベント ページをご参照ください。SEMIスタンダード活動についてご質問がございましたら、 SEMIスタンダード担当者までお問い合わせください。
Standards Watch
SEMI
www.semi.org
December 2, 2021